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外商独资企业设立审批所需材料如下：

1、承诺书、办理人员授权委托书及身份证复印件；

2、设立申请表；

3、可行性分析报告；

4、房屋、场地租赁协议及产权证明复印件；

5、外商投资企业名称核准通知书复印件；

6、董事会人员组成名单复印件。

程序如下：

1、报区商务局审批；

2、领取批复，到市技术监督局办理企业组织机构代码手续；

3、持企业组织机构代码通知书、批复原件到区商务局办理批准证书手续；

4、领取批准证书后，到市工商局办理营业执照手续。